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給圖紙也造不出EUV光刻機?150噸,45萬套零件,250人要裝半年
2024/02/24

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眾所周知,EUV光刻機是制造7nm以下芯片,必須用到的半導體設備,且全球僅ASML一家能夠生產,還不能賣給中國。

所以中國的芯片制造工藝要進入7nm以下,千難萬難,除非中國能夠自己制造出EUV光刻機出來,或者換一條路,不采用光刻工藝……

于是很多人就奇怪了,中國的模仿能力不是一流的麼?那麼將EUV光刻機拆了,將里面的零件一比一復制,不就造出來了麼?

事實上,要造光刻機真沒這麼簡單,之前網上流傳一個故事,說ASML的工程師對中國去參觀學習的工程師說,給你們光刻機的圖紙,你們都造不出光刻機來。

雖然不是真假,看起來也有一點夸張,但實情也許還真是如此,特別是EUV光刻機,真的給我們圖紙,也未必造的出來。

首先EUV光刻機非常復雜,全球有5000多家供應商,一共有45萬多套零件,注意這里的單位是「套」,所謂的「套」,是指已經做了一些整合的零件了。

這45萬多套零件,實際上還可以再拆分,如果按不可拆卸的最小單位來計算零件,據稱至少超過300萬個。

并且這里面很多核心零件,是無法模仿的,有些零件甚至全球僅有那麼一家廠商能夠制造。

而這家廠商和ASML就有獨家合作協議,比如蔡司的物鏡系統等,我們拿什麼去一比一復制出來?我們難道還難自己搞定5000多家供應鏈,自己制造出這300多萬個零件?所以還真是給圖紙,都造不出來。

其次,EUV光刻機也非常復雜,就算安裝調試都是一個大工程,目前的EUV光刻機,重量超過150萬,也就是15萬公斤。

在ASML交付的時候,并不是一台整的機器交付的,而是分成若干個零件交付,運輸的時候,一台EUV光刻機就需要250個貨箱來運輸。

然后運輸到目的地之后,需要ASML安裝250個裝配工程師,再花180天的時間,才能安裝調試完成,中間需要大量的技術、經驗等。

所以不吹不黑,就算ASML將圖紙給我們,一方面我們找不到這些合適的零件,二是我們找到了零件,都未必能夠安裝調試完成。更何況中間還有各種專利限制。

所以,研發EUV光刻機,真不是一件容易的事情,我們一方面雖然不能自己人滅自己人威風,要有信心,但另外一方面也要清楚,這事真的不容易,要有清醒認識,要有打一場攻堅戰的準備。

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